Содержание
- 2. В твердом теле диффузия – процесс активируемого температурой перескока атома из одной потенциальной ямы в другую.
- 3. Законы Фика j = – D grad N, = – = – = N x dx
- 4. Диффузия из одной полуограниченной области в другую Краевые условия N (-∞,t) = No = const N
- 5. Диффузия из неограниченного источника примеси N(x,t) = Ns erfc (x/L)
- 6. Диффузия из ограниченного источника примеси
- 7. Диффузия из слоя конечной толщины суперпозиция двух профилей N1–N2
- 8. Диффузия из бесконечно тонкого слоя (точечный источник) При h → 0 интеграл стремится к
- 9. Понятие тонкого и толстого слоя h > 4L – слой толстый h Отражающая и связывающая границы
- 10. Факторы, влияющие на величину коэффициента диффузии Температура процесса. D(T) = Do exp (- E/kT) Механические напряжения
- 11. Диффузия из пленок, наносимых на поверхность полупроводника Пленки металлов, например, Au или Al, нанесенные методом термического
- 12. Диффузия в потоке газа-носителя Твердые источники БСС (nB2O3∙mSiO2), В2О3 ФСС (nP2O5∙mSiO2) Газообразные источники В2Н6 (диборан) PH3
- 13. Диффузия в потоке газа-носителя из жидкого источника BCl3 и BBr3; PCl3 Барботер B2O3
- 14. Метод параллельного источника Установка твердых планарных источников и пластин кремния – в кварцевой кассете: 1 –
- 15. Двух- и трехмерные точечные источники r - расстояние от источника диффузанта m= 1/2, 1 и 3/2,
- 16. Диффузия в прямоугольное окно
- 17. Источники диффузанта Бор (В) В2Н6 (диборан); смесь (порядка 5%) с Ar БСС (nB2O3∙mSiO2), В2О3 2 B2O3
- 18. Выбор легирующей примеси Система энергетических уровней, создаваемых данной группой примесей в запрещенной зоне полупроводника. Все основные
- 19. Ge Si
- 20. Отражающая граница
- 22. Скачать презентацию