Исследование электромиграции в тонкопленочных проводниках алюминия и меди, нанесенных на поликоровые подложки
Цель, объект, решаемые задачи Цель исследования – получение практических сведений о электромиграционных процессах и зависимостях в осажденных пленках меди и алюминия. Объект исследования - пленки алюминия и меди, полученные в процессе тер