Формирование областей исток-сток МОПТ. (Лекция 9) презентация

Содержание

Слайд 2

Структура областей исток-сток наноразмерного МОПТ

[ 1 ]

Слайд 3

Эффект образования горячих носителей

[ 2 ]

Слайд 4

Причины и следствия образования горячих носителей
Lк Nп Xопз E УИ ГН Ин

Uп ВЖ

Слайд 5

Механизм образования ловушек для горячих носителей

[ 1 ]

Слайд 6

Влияние горячих носителей на ВАХ МОПТ

Стресс

до

после

[ 1 ]

Слайд 7

LDD структура стока

Затвор

Спейсер

Подзатворный окисел

Сток

[ 2 ]

Слайд 8

[ 2 ]

Расстояние от поверхности, мкм

Влияние LDD структуры на распределение электрического поля

Слайд 9

Влияние дозы имплантации примеси для LDD на время жизни и ток в подложку

МОПТ

Ток в подложку, А/см2

Доза

Время жизни, годы

[ 2 ]

LDD
формирется ОПЗ сужается

Область cуществования LDD

Слайд 10

[ 2 ]

Маршрут формирования МОПТ с LDD структурой

Слайд 11

[ 3 ]

Изменение глубины LDD структуры от технологического уровня

Слайд 12

Зависимость тока насыщения МОПТ от длины канала и уровня легирования LDD структуры

[ 3

]

Слайд 13

LDD

[ 3 ]

Влияние перекрытия LDD структуры электродом затвора на ток насыщения МОПТ

Слайд 14

Факторы, влияющие на величину сопротивления LDD стока МОПТ

[ 2 ]

Слайд 15

Эффект обеднения LDD - структуры

[ 2 ]

Обеднение области п-типа

Отрицательный заряд

Слайд 16

Конструктивные варианты LDD структуры

[ 2 ]

Градиентно-скрытый LDD

Скрытый LDD

Поверхностный LDD

Слайд 17

Зависимость степени деградации крутизны МОПТ от времени испытания для различных LDD

[ 2 ]

Поверхностный

LDD

Скрытый LDD

Градиентно-скрытый LDD

Деградация крутизны

Время испытаний, час

Слайд 18

Маршрут изготовления градиентно-профильной LDD структуры

[ 2 ]

Иония имплантация мышьяка ( малая доза

)
Ионная имплантация фосфора
Формирование спейсеров
Ионная имплантация мышьяка ( большая доза и энергия )

Слайд 19

Маршрут формирования LDD КМОП ИС с двумя карманами

[ 2 ]

Слайд 20

Влияние концентрации примеси и температуры на подвижность носителей

Слайд 21

Гало-области МОПТ

[ 2 ]

Маршрут формирования МОПТ
с локальной гало-областью

МОПТ с гало-областью

Слайд 22

Влияние режимов формирования гало-области на изменение порогового напряжения МОПТ

[ 1 ]

Слайд 23

[ 1 ]

Влияние гало-области на напряжение смыкания ОПЗ исток-сток

Слайд 24

Влияние режима формирования гало-области на подпороговый ток МОПТ

[ 1 ]

Имя файла: Формирование-областей-исток-сток-МОПТ.-(Лекция-9).pptx
Количество просмотров: 14
Количество скачиваний: 0