Производство интегральных микросхем презентация

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Производство интегральных микросхем
Основные этапы:
Изготовление монокристалла
2. Разрезка монокристалла на пластины и их подготовка
3. Формирование слоев
4. Металлизация
5. Резка пластин
6. Установка в корпус

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Изготовление монокристалла методом Чохральского
1-Тигель с расплавом
2. – печь
3 – затравка
4 – холодильник
5 – механизм вытягивания

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Разрезка монокристалла на пластины

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Схема формирования слоев методом фотолитографии

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Нанесение защитной пленки диэлектрика SiO2

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Нанесение фоторезистива

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Формирование рисунка

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Фотошаблон

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Установка EUV-литографии

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Установка EUV-литографии

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Травление

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Схема установки травления, промывки и сушки
1 – ротор
2 – днище камеры с отверстием
3 – форсунка сушки
4 – форсунка травления и отмывки
5 – платформа с пластинами
6 – съемная крышка

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Формирование слоев
(диффузия)

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Рабочая камера диффузионной печи

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Метод ионной имплантации

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Метод ионной имплантации

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Ломка пластин на отдельные кристаллы

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Установка в корпус

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016
Технология
«напряженный кремний»

ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. [phone]
Производство интегральных микросхем Весна 2016