Насос Рутса презентация

Схема – разрез насоса Рутса

СТАДИИ РАБОТЫ НАСОСА РУТСА

Обратный поток в области низкого вакуума

Параметры насосов Рутса
Насос Рутса не является компрессором, и предназначен для транспортирования больших объемов газа
Насос Рутса работает при определенном перепаде давлений
Для работы необходим форвакуумный насос
Наиболее эффективная откачка в диапазоне давлений от 1 до 10-2 мбар
Рабочий зазор 0.1-0.5 мм
Скорость откачки от 150 до 30,000 м3ч-1

Преимущества «сухих» насосов
Стабильность процесса откачки
Высокий предельный вакуум
Высокая производительность
БЕЗМАСЛЯННЫЙ ВАКУУМ – ЧИСТЫЙ ПРОЦЕСС

Достоинства предлагаемой системы
ЭКОНОМИЧНОСТЬ:
Отсутствует масло: отсутствует масляный фильтр, нет необходимости в утилизации отработанной жидкости, нет необходимости в фильтрах масляного тумана
Увеличивается производительность производства
Простое обслуживание: не требует замены масла, не требует смены масляного фильтра, периодичность кап.ремонта 6 лет, нет протечек масла, нет потерь вакуума.
Простое обслуживание пылевых фильтров: сетчатые очищаемые экраны
Сокращение времени откачки: требуется меньшее количество операций по чистке вакуумной магистрали
(допускаемая зернистость пыли <50 микрон) ? меньшее газовыделение

Преимущества предлагаемой системы
Улучшенное качество проведения технологического процесса:
Значительно меньшие вибрации
Высокое качество вакуума ( время откачки & стабильный уровень рабочего вакуума ): отсутствие углеводородов или двуокиси кремния в расплаве и рабочей камере.
Повторяемость откачных характеристик от цикла к циклу
Отсутствие масляных протечек
Стабильность откачных характеристик от условий окружающей среды ( «сухие» насосы имеют высокую производительность по откачке паров )
Большая производительность по Аргону
( специально адаптированное рабочее тело насоса )
Мониторинг системы, Возможность сигнализации

Недостатки
Небольшая степень повышения давления
Несовершенство процесса сжатия
Более высокая температура газа на нагнетании
Высокий уровень шума.

Сравнения стоимости эксплуатации насосов

Видео

РЖ-61