Зерттеу әдістері презентация

Эксперименттік қондырғы
(вакуумдық жүйе)

Эксперименттік қондырғы
(электрлік жүйесі)
анод
катод
Bright
MSF controller
Қысым
датчигі
лазер
Вакуумдық
сорғы
газ
Зерттеу
аймағы

Зерттеу объектісі

Солғын разряд
Катод маңы
аймағы
Теріс солғын аймақ
Фарадей қараңғы аймағы
Оң бағана
Анод маңы аймағы

3 kV
2 kV
2,5 kV
1,5 kV
3,5 kV
4 kV
Ar: 20 mln/min

3 kV
2 kV
2,5 kV
1,5 kV
3,5 kV
4 kV
Ar: 20 mln/min + CH4: 0,2 mln/min

Тозаңды плазма бойынша соңғы нәтижелер
PECVD әдісі арқылы алынған плазмалық-тозаңды
құрылым
Нано- және микроөлшемді тозаңды плазманың
құрылымдық-кеңістіктік ерекшеліктері

PECVD әдісі арқылы алынған плазмалық-тозаңды
құрылым
PK-4 (ISS, микробөлшектер)
Біздің тәжірибе
(нанобөлшектер)

Нано- және микроөлшемді тозаңды плазманың
құрылымдық-кеңістіктік ерекшеліктері

Газ ағынының бағыты
Ar+
CH4
сорғы